檢索結果：共6筆資料 檢索策略： "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="化學氣相沉積"
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摘 要 此論文利用兩年時間研究二氧化釕、二氧化銥奈米桿化學氣相沉積在Zn/Si、LiNbO3(100)、SA(012)、SA(100)基材表面的選區成長。這些一維奈米桿垂直陣列於LiNbO3(…
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鉑釕(Pt-Ru)合金可以經由一些方法製備出，其中之一為採用薄膜製造技術。本研究宗旨在找到經由原子層沉積方法(atomic layer deposition, ALD)的鉑釕合金催化劑之反應區域。在…
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由於過量鋰材料擁有高比電容量~270 mAhg-1及高工作電壓特性，近十年受到廣泛的研究。然而，因其導電性不佳、於長圈數測試下電壓衰退及界面的不穩定性，導致尚無法導入實際應用。 本研究分為兩個策略進…
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本論文的主題分為四部分: (1)以SiH4、C2H2和H2為反應物的低壓化學氣相沉積系統探討Si(111)上碳化緩衝層表面的石墨化及其對成長3C-SiC(111)磊晶膜的影響之研究; (2)以SiH…
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本論文藉由四異丙基鈦前驅物進行化學氣相沉積，研究二氧化鈦奈米桿成長於二氧化錫摻雜氟(FTO)的導電玻璃及SA(100)基板上。藉由控制不同的化學氣相沉積成長條件，可得到金紅石結構、銳鈦礦結構與兩結構…
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本實驗利用具有大表面積及優越導電性的一維氮化銦(InN)奈米帶作為以化學氣相沉積法共沉積Pt-Ru雙金屬觸媒的模版，探討觸媒沉積後的組成、形態，及其電化學性質，期待作為直接甲醇燃料電池中陽極觸媒方面…